k8凯发国际入口退火爐k8凯发国际入口計的校溫技術說明

　　據介紹，k8凯发国际入口退火爐采用由加速數字PLD溫度控製器、熱電偶、k8凯发国际入口計和熱源組成的閉環控製係統，正確控製溫度。通過對不同區域鹵素燈管的協同控製，可以補償溫度控製過程中每個區域的溫差，使基板上不同區域的溫度保持不變。由於安裝在腔體底部，k8凯发国际入口計隻能接收來自基板背麵的輻射，而不能接收來自燈的輻射。因此，k8凯发国际入口計可以正確地測量襯底的溫度。該k8凯发国际入口計的溫度校準原理如下：

　　1、k8凯发国际入口計簡介：

　　本文介紹的k8凯发国际入口計是一種熱輻射光學k8凯发国际入口計。當k8凯发国际入口計接收到來自被測物體的紅外輻射時，光學信號經過濾波、光電轉換和放大處理，成為模擬信號，並傳輸到傳感器的信號接口電路模塊。該模塊對信號進行A/D轉換，並將其轉換為計算機可以識別的數字信號。反饋給計算機的數字信號在下文中被稱為k8凯发国际入口計反饋值。

　　2、溫度校準表：

　　根據相關定律，物體的溫度與其輻射和光譜發射率有關。對於k8凯发国际入口退火爐，k8凯发国际入口計接收的輻射量主要取決於襯底材料、摻雜、表麵天然氧化物層和襯底溫度等因素。對於相同類型的襯底（即具有相同材料、摻雜和表麵天然氧化物層的襯底），k8凯发国际入口計接收的輻射量與襯底溫度有關。因此，對於相同類型的襯底，k8凯发国际入口計的反饋值與襯底溫度一一對應。該對應關係構成溫度校準數據，並且溫度校準表是用於存儲多個襯底溫度與k8凯发国际入口計的反饋值之間的關係數據的表。不同的溫度對應於k8凯发国际入口計的不同反饋值。k8凯发国际入口退火爐計算機可以根據k8凯发国际入口計反饋的信號值和溫度校準表計算出基板的實際溫度。